多晶硅生产中产生的废气大多属于易燃易爆、有毒有害物质，主要来源于精馏工序、还原工序、尾气回收工序( CDI) 、氢化工序和合成工序等。
多晶硅生产中废气的处理方法主要有水洗法、焚烧法和碱液淋洗法。水洗法是多晶硅厂相当传统的废气处理方法，是通过大量的喷淋水吸收废气中氯化氢和氯硅烷，该方法资源浪费量巨大，同时存在重大的安全隐患，现在已基本不使用。焚烧法是将废气进行高温燃烧和水解，得到二氧化硅和盐酸，该方法因前期投资过大、设备要求过高、工艺复杂、运行成本高等原因，其应用受到限制。碱液淋洗法因其工艺简单、投资和运行成本较低、处理效果好等优点，成为目前多晶硅厂相当常用的废气处理方法。
虽然目前的多晶硅生产工艺能将副产物回收利用，实现闭路循环生产，但工艺技术并未完全成熟，生产系统的稳定性仍较差。因此，必须对多晶硅厂原废气处理工艺进行优化和改造，使之满足安全环保、节能降耗和循环经济等方面的要求，从而促进多晶硅产业的健康可持续发展。
上海永爱健净化设备有限公司 (原上海永健净化设备总厂) 是1994年有海洋局,上海交通大学,上海医科大学创办的现代化高科技企业.永爱健提供专业挥发性有机气体（VOCs）净化整体解决方案.致力成为一家集研发设计,设备制造,工程承包于一体的企业.公司拥有环境污染治理总承包资质,环境工程专项设计及多个相关专利证书.是环保协会会员单位.
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